000 00849nab a2200253u##4500
001 komp/857353
003 POUNB
005 20240110113532.0
008 090508u20099999ru_ rus d
040 _aПОУНБ
_brus
041 _arus
044 _aRU
100 1 _aАЛФЕРОВ,Ж. И.
_4aut
245 0 0 _aНАНОТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И ЭНЕРГЕТИКИ
_cЖ. И. АЛФЕРОВ
773 0 _tВЕСТНИК РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК. - 2009. - Т. 79 № 3. - С. 224-229.
_d2009
_wВЕ5/2009/79/3
_02049588
_91893463
084 _a32.844.1
_2rubbk
084 _a31.6
_2rubbk
942 _cARTICLE
090 _xА 53
991 _bkomp
_c32.844.1/А 53-265573
336 _atext
_btxt
_2rdacontent
337 _aunmediated
_bn
_2rdamedia
338 _asheet
_bnb
_2rdacarrier
999 _c2345342
_d2345342