| 000 | 02213nam a2200313u##4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | genk/58852 | ||
| 003 | POUNB | ||
| 005 | 20240110060551.0 | ||
| 020 |
_a9789665538820 _c528.00, тираж 500 |
||
| 040 |
_aПОУНБ _bukr |
||
| 041 | _aukr | ||
| 044 | _aUA | ||
| 100 | 1 |
_4aut _aГотра, Зенон Юрійович |
|
| 245 | 0 | 0 |
_aТехнологія електронної техніки: _bнавчальний посібник для студентів вузів : у 2-х т./ _cГотра, Зенон Юрійович;З. Ю. Готра. _pТ. 1 |
| 260 |
_aЛьвів: _bЛьвівська політехніка _c2010 |
||
| 300 | _a886 с. | ||
| 520 | _aОписано основні технологічні процеси електронної техніки: вирощування монокристалів, механічну, фізико-хімічну обробку матеріалів та напівпровідникових структур. Розглянуто процеси дифузії, епітаксії, іонної імплантації, лазерної, плазмової та електронно-променевої обробки. Описані технологія фото-, електроно-, рентгенолітографії, тонких, товстих плівок, створення наноструктур, а також монтаж та герметизація. Висвітлено методи отримання вакууму та контролю в технології електронної техніки. Рекомендований для студентів вищих навчальних закладів, які навчаються за напрямом "Електроніка". | ||
| 084 |
_a32.85я73 _2rubbk |
||
| 700 | 1 |
_aГотра, З. Ю. _qЗенон Юрійович _4aut |
|
| 856 | 7 | _2\images\1065333_910_0.jpg | |
| 856 | 7 | _2\images\1065333_910_0.jpg | |
| 942 | _cBOOK | ||
| 090 | _xГ 74 | ||
| 991 |
_bgenk _c32.85я73/Г 74-602643 |
||
| 336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
| 337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
| 338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
| 999 |
_c1804834 _d1804834 |
||