000 00860nam a2200265u##4500
001 genk/118852
003 POUNB
005 20240110060157.0
020 _c0.70
040 _aПОУНБ
_brus
041 _arus
044 _aRU
100 1 _aДостанко,А. П.
_qАнатолий Павлович
_4aut
245 0 0 _aТехнология интегральных схем
_bУчебное пособие для студентов вузов
_cА. П. Достанко
260 _aМинск
_bВышэйшая школа
_c1982
300 _a206 с.:
_bрис.
084 _a32.844.1я73
_2rubbk
942 _cBOOK
090 _xД 706
991 _bgenk
_c32.844.1я73/Д 706-486892
336 _atext
_btxt
_2rdacontent
337 _aunmediated
_bn
_2rdamedia
338 _asheet
_bnb
_2rdacarrier
999 _c1800909
_d1800909