000 00955nas a2200265u##4500
001 genk/180266
003 POUNB
005 20240110055926.0
020 _c1.40, тираж 28000
040 _aПОУНБ
041 _a
100 1 _aЧерняев,В. Н.
_qВладимир Николаевич
_4aut
245 0 0 _aТехнология производства интегральных микросхем и микропроцессоров
_bучебник для студентов вузов
_cВ. Н. Черняев
250 _a2-е изд., перераб. и доп.
260 _aМ.
_bРадио и связь
_c1987
300 _a464 с.
084 _a32.844.1-06я73
_2rubbk
942 _cBOOK
090 _xЧ-498
991 _bgenk
_c32.844.1-06я73/Ч-498-024066744
336 _atext
_btxt
_2rdacontent
337 _aunmediated
_bn
_2rdamedia
338 _asheet
_bnb
_2rdacarrier
999 _c1798371
_d1798371