| 000 | 00944nam a2200277u##4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | genk/116646 | ||
| 003 | POUNB | ||
| 005 | 20240110055634.0 | ||
| 020 | _c1.40 | ||
| 040 |
_aПОУНБ _brus |
||
| 041 | _arus | ||
| 044 | _aRU | ||
| 100 | 1 |
_aДанилин,Б. С. _qБорис Степанович _4aut |
|
| 245 | 0 | 0 |
_aПрименение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов _cБ. С. Данилин, В. Ю. Киреев |
| 260 |
_aМ. _bЭнергоатомиздат _c1987 |
||
| 300 |
_a262 с.: _bил. |
||
| 084 |
_a30.669 _2rubbk |
||
| 700 | 1 |
_aКиреев,В. Ю. _qВалерий Юрьевич _4aut |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 090 | _xД 182 | ||
| 991 |
_bgenk _c30.669/Д 182-107832 |
||
| 336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
| 337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
| 338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
| 999 |
_c1795462 _d1795462 |
||