000 00946nam a2200289u##4500
001 genk/112611
003 POUNB
005 20240110054205.0
020 _c4.00, тираж 30000
040 _aПОУНБ
_brus
041 _arus
044 _aRU
100 1 _aГотра,З. Ю.
_qЗенон Юрьевич
_4aut
245 0 0 _aТехнология микроэлектронных устройств
_cЗ. Ю. Готра
260 _aМ.
_bРадио и связь
_c1991
300 _a527 с.:
_bил.
504 _aБиблиогр.: с. 526 (22 назв.)
650 0 4 _aМикроэлектронная аппаратура
_xПроизводство
084 _a32.844.1я2
_2rubbk
942 _cBOOK
090 _xГ 74
991 _bgenk
_c32.844.1я2/Г 74-401071
336 _atext
_btxt
_2rdacontent
337 _aunmediated
_bn
_2rdamedia
338 _asheet
_bnb
_2rdacarrier
999 _c1780461
_d1780461