| 000 | 01033nam a2200289u##4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | genk/169073 | ||
| 003 | POUNB | ||
| 005 | 20240110052011.0 | ||
| 020 |
_a5335005726 _c0.70, тираж 4000 |
||
| 040 |
_aПОУНБ _brus |
||
| 041 | _arus | ||
| 044 | _aRU | ||
| 100 | 1 |
_aПолтавцев,Ю. Г. _qЮрий Гаврилович _4aut |
|
| 245 | 0 | 0 |
_aТехнология обработки поверхностей в микроэлектронике _cЮ. Г. Полтавцев, А. С. Князев |
| 260 |
_aК. _bТехника _c1990 |
||
| 300 | _a205 с. | ||
| 650 | 0 | 4 |
_aМикроэлектронные схемы интегральные _xДетали |
| 084 |
_a32.844.1 _2rubbk |
||
| 700 | 1 |
_aКнязев,А. С. _qАлександр Сергеевич _4aut |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 090 | _xП 528 | ||
| 991 |
_bgenk _c32.844.1/П 528-908332 |
||
| 336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
| 337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
| 338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
| 999 |
_c1758094 _d1758094 |
||