| 000 | 01033nam a2200313u##4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | genk/230093 | ||
| 003 | POUNB | ||
| 005 | 20240110051353.0 | ||
| 020 | _c0.79 | ||
| 040 | _aПОУНБ | ||
| 041 | _arus | ||
| 044 | _aRU | ||
| 100 | 1 |
_aПресс,Ф. П. _qФеликс Павлович _4aut |
|
| 245 | 0 | 0 |
_aФотолитография в производстве полупроводниковых приборов _cФ. П. Пресс |
| 260 |
_aМ. _bЭнергия _c1968 |
||
| 300 |
_a200 с.: _bил. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 191 - 199 | ||
| 650 | 0 | 4 | _aПолупроводниковые приборы |
| 653 | 0 | _aфотолитография | |
| 653 | 0 | _aполупроводниковые приборы | |
| 653 | 0 | _aпроизводство | |
| 942 | _cBOOK | ||
| 090 | _xП 73 | ||
| 991 |
_bgenk _c6П2.151.8/П 73-337503244 |
||
| 336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
| 337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
| 338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
| 999 |
_c1751696 _d1751696 |
||
| 084 |
_a6П2.151.8 _2tbk |
||