| 000 | 01148nam a2200289u##4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | genk/105319 | ||
| 003 | POUNB | ||
| 005 | 20240110051248.0 | ||
| 020 | _c1.00, тираж 11000 | ||
| 040 |
_aПОУНБ _brus |
||
| 041 | _arus | ||
| 044 | _aRU | ||
| 100 | 1 |
_aБлинов,И. Г. _qИван Григорьевич _4aut |
|
| 245 | 0 | 0 |
_aОборудование полупроводникового производства _bучебное пособие для вузов _cИ. Г. Блинов, Л. В. Кожитов |
| 260 |
_aМ. _bМашиностроение _c1986 |
||
| 300 |
_a262 с.: _bил. |
||
| 650 | 0 | 4 |
_aЭлектронная промышленность, предприятия _xОборудование |
| 650 | 0 | 4 |
_aПолупроводниковые приборы _xПроизводство |
| 700 | 1 |
_aКожитов,Л. В. _qЛев Васильевич _4aut |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 090 | _xБ 695 | ||
| 991 |
_bgenk _c6П2.151.8(075.3)/Б 69-193750 |
||
| 336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
| 337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
| 338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
| 999 |
_c1750591 _d1750591 |
||
| 084 |
_a6П2.151.8(075.3) _2tbk |
||