| 000 | 00944nam a2200289u##4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | genk/104681 | ||
| 003 | POUNB | ||
| 005 | 20240110051026.0 | ||
| 020 | _c2.60, тираж 11000 | ||
| 040 |
_aПОУНБ _brus |
||
| 041 | _arus | ||
| 044 | _aRU | ||
| 100 | 1 |
_aБроудай,И. _qИвор _4aut |
|
| 245 | 0 | 0 |
_aФизические основы микротехнологии _bпер. с англ. _cИ. Броудай, Д. Мерей |
| 260 |
_aМ. _bМир _c1985 |
||
| 300 |
_a494 с.: _bил. |
||
| 650 | 0 | 4 |
_aМикроэлектронные схемы интегральные _xПроизводство |
| 084 |
_a32.844.1 _2rubbk |
||
| 700 | 1 |
_aМерей,Д. _qДжулиус _4aut |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 090 | _xБ 88 | ||
| 991 |
_bgenk _c32.844.1/Б 88-130510 |
||
| 336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
| 337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
| 338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
| 999 |
_c1748189 _d1748189 |
||