| 000 | 00993nam a2200289u##4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | genk/103399 | ||
| 003 | POUNB | ||
| 005 | 20240110050540.0 | ||
| 020 | _c0.11, тираж 36.280 | ||
| 040 |
_aПОУНБ _brus |
||
| 041 | _arus | ||
| 044 | _aRU | ||
| 100 | 1 |
_aВасичев,Б. Н. _qБорис Никитович _4aut |
|
| 245 | 0 | 0 |
_aЭлектронолитография _cБ. Н. Васичев |
| 260 |
_aМ. _bЗнание _c1982 |
||
| 300 |
_a64 с.: _bил. |
||
| 440 | 0 | _aНовое в жизни, науке, технике. Радиоэлектроника и связь | |
| 650 | 0 | 4 | _aФотолитография |
| 650 | 0 | 4 |
_aМикроэлектронные схемы интегральные _xПроизводство |
| 942 | _cBOOK | ||
| 090 | _xВ 195 | ||
| 991 |
_bgenk _c761.22/В 195-439313 |
||
| 336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
| 337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
| 338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
| 999 |
_c1743356 _d1743356 |
||
| 084 |
_a761.22 _2tbk |
||