000 00907nam a2200265u##4500
001 genk/163870
003 POUNB
005 20240110050116.0
020 _c1.10, тираж 35000
040 _aПОУНБ
_brus
041 _arus
044 _aRU
100 1 _aПарфенов,О. Д.
_qОлег Дмитриевич
_4aut
245 0 0 _aТехнология микросхем
_bучебное пособие для вузов
_cО. Д. Парфенов
260 _aМ.
_bВысшая школа
_c1986
300 _a318 с.:
_bил.
650 0 4 _aМикроэлектронные схемы интегральные
_xПроизводство
942 _cBOOK
090 _xП 189
991 _bgenk
_c6П2.151.8(075.3)/П 189-801136
336 _atext
_btxt
_2rdacontent
337 _aunmediated
_bn
_2rdamedia
338 _asheet
_bnb
_2rdacarrier
999 _c1738944
_d1738944
084 _a6П2.151.8(075.3)
_2tbk