000 00973nam a2200301u##4500
001 genk/162244
003 POUNB
005 20240110045503.0
020 _c3.48, тираж 1800
040 _aПОУНБ
_brus
041 _arus
044 _aRU
245 0 0 _aОсаждение из газовой фазы
_bсокр. пер. с англ.
_cДж. Блочер, А. Лунэм, Дж. Детторр ; ред. К. Пауэлл
260 _aМ.
_bАтомиздат
_c1970
300 _a472 с.
650 0 4 _aОсаждение (хим.) из газовой фазы
700 1 _aБлочер,Дж.
_4aut
700 1 _aЛунэм,А.
_4aut
700 1 _aДетторр,Дж.
_4aut
700 1 _aПауэлл,К.
_4edt
942 _cBOOK
090 _xО-72
991 _bgenk
_c531.9/О-72-075131
336 _atext
_btxt
_2rdacontent
337 _aunmediated
_bn
_2rdamedia
338 _asheet
_bnb
_2rdacarrier
999 _c1732672
_d1732672
084 _a531.9
_2tbk