000 00897nam a2200277u##4500
001 genk/153825
003 POUNB
005 20240110041542.0
020 _c24.80, тираж 1475
040 _aПОУНБ
_brus
041 _arus
044 _aRU
100 1 _aНикитин,М. М.
_qМихаил Михайлович
_4aut
245 0 0 _aТехнология и оборудование вакуумного напыления
_cМ. М. Никитин
260 _aМ.
_bМеталлургия
_c1992
300 _a110 с.:
_bил.
650 0 4 _aПленки тонкие
_xНапыление вакуумное
084 _a31.77-5
_2rubbk
942 _cBOOK
090 _xН 624
991 _bgenk
_c31.77-5/Н 624-154452
336 _atext
_btxt
_2rdacontent
337 _aunmediated
_bn
_2rdamedia
338 _asheet
_bnb
_2rdacarrier
999 _c1693139
_d1693139