| 000 | 01018nam a2200265u##4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | genk/151992 | ||
| 003 | POUNB | ||
| 005 | 20240110040648.0 | ||
| 020 | _c0.23, тираж 7500 | ||
| 040 |
_aПОУНБ _brus |
||
| 041 | _arus | ||
| 044 | _aRU | ||
| 100 | 1 |
_aМоряков,О. С. _qОлег Сергеевич _4aut |
|
| 245 | 0 | 0 |
_aВакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве _bучебное пособие для проф.-техн. учеб. заведений _cО. С. Моряков |
| 260 |
_aМ. _bВысшая школа _c1974 |
||
| 300 |
_a141 с.: _bил. |
||
| 650 | 0 | 4 |
_aПолупроводниковые приборы _xПроизводство |
| 942 | _cBOOK | ||
| 090 | _xМ 809 | ||
| 991 |
_bgenk _c6П2.151.8/М 809-215197 |
||
| 336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
| 337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
| 338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
| 999 |
_c1684180 _d1684180 |
||
| 084 |
_a6П2.151.8 _2tbk |
||