| 000 | 01408nam a2200301u##4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | genk/151640 | ||
| 003 | POUNB | ||
| 005 | 20240110040508.0 | ||
| 020 | _c0.60, тираж 9000 | ||
| 040 |
_aПОУНБ _brus |
||
| 041 | _arus | ||
| 044 | _aRU | ||
| 100 | 1 |
_aМокеев,О. К. _qОлег Константинович _4aut |
|
| 245 | 0 | 0 |
_aХимическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и материалов _bУчебное пособие для студентов средних специальных учебных заведений _cО. К. Мокеев, А. С. Романов |
| 260 |
_aМ. _bВысшая школа _c1979 |
||
| 300 |
_a272 с.: _bил. |
||
| 440 | 0 | _aПрофтехобразование. Радиоэлектроника | |
| 650 | 0 | 4 |
_aПолупроводниковые приборы _xПроизводство |
| 650 | 0 | 4 |
_aМикроэлектронные схемы интегральные _xПроизводство |
| 700 | 1 |
_aРоманов,А. С. _qАлександр Сергеевич _4aut |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 090 | _xМ 749 | ||
| 991 |
_bgenk _c6П2.151.8(075.1)/М 749-425941 |
||
| 336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
| 337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
| 338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
| 999 |
_c1682474 _d1682474 |
||
| 084 |
_a6П2.151.8(075.1) _2tbk |
||