000 01007nam a2200277u##4500
001 genk/145274
003 POUNB
005 20240110033322.0
020 _c2.50, тираж 20000
040 _aПОУНБ
_brus
041 _arus
044 _aRU
100 1 _aМалышева,И. А.
_qИдея Александровна
_4aut
245 0 0 _aТехнология производства интегральных микросхем
_bУчебник для студентов средних специальных учебных заведений
_cИ. А. Малышева
250 _a2-е изд., перераб. и доп.
260 _aМ.
_bРадио и связь
_c1991
300 _a343 с.:
_bил.
084 _a32.844.1я723
_2rubbk
942 _cBOOK
090 _xМ 207
991 _bgenk
_c32.844.1я723/М 20-300814
336 _atext
_btxt
_2rdacontent
337 _aunmediated
_bn
_2rdamedia
338 _asheet
_bnb
_2rdacarrier
999 _c1649897
_d1649897