000 00953nam a2200277u##4500
001 genk/145191
003 POUNB
005 20240110033301.0
020 _c1.27, тираж 4000
040 _aПОУНБ
_brus
041 _arus
044 _aRU
100 1 _aМазель,Е. З.
_qЕвгений Зиновьевич
_4aut
245 0 0 _aПланарная технология кремниевых приборов
_cЕ. З. Мазель, Ф. П. Пресс
260 _aМ.
_bЭнергия
_c1974
300 _a384 с.:
_bчерт.
650 0 4 _aПолупроводниковые приборы
_xПроизводство
700 1 _aПресс,Ф. П.
_qФеликс Павлович
_4aut
942 _cBOOK
090 _xМ 135
991 _bgenk
_c6П2.151.8/М 135-054029
336 _atext
_btxt
_2rdacontent
337 _aunmediated
_bn
_2rdamedia
338 _asheet
_bnb
_2rdacarrier
999 _c1649532
_d1649532
084 _a6П2.151.8
_2tbk