000 | 00953nam a2200277u##4500 | ||
---|---|---|---|
001 | genk/145191 | ||
003 | POUNB | ||
005 | 20240110033301.0 | ||
020 | _c1.27, тираж 4000 | ||
040 |
_aПОУНБ _brus |
||
041 | _arus | ||
044 | _aRU | ||
100 | 1 |
_aМазель,Е. З. _qЕвгений Зиновьевич _4aut |
|
245 | 0 | 0 |
_aПланарная технология кремниевых приборов _cЕ. З. Мазель, Ф. П. Пресс |
260 |
_aМ. _bЭнергия _c1974 |
||
300 |
_a384 с.: _bчерт. |
||
650 | 0 | 4 |
_aПолупроводниковые приборы _xПроизводство |
700 | 1 |
_aПресс,Ф. П. _qФеликс Павлович _4aut |
|
942 | _cBOOK | ||
090 | _xМ 135 | ||
991 |
_bgenk _c6П2.151.8/М 135-054029 |
||
336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
999 |
_c1649532 _d1649532 |
||
084 |
_a6П2.151.8 _2tbk |