| 000 | 00874nas a2200253u##4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | genk/198914 | ||
| 003 | POUNB | ||
| 005 | 20240110025620.0 | ||
| 020 | _c1.70 | ||
| 040 | _aПОУНБ | ||
| 041 | _a | ||
| 100 | 1 |
_aЧехович,Е. К. _qЕвгений Казимирович _4aut |
|
| 245 | 0 | 0 |
_aОптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники _cЕ. К. Чехович |
| 260 |
_aМинск _bНаука и техника _c1989 |
||
| 300 | _a213 с. | ||
| 084 |
_a32.844.1-7 _2rubbk |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 090 | _xЧ-563 | ||
| 991 |
_bgenk _c32.844.1-7/Ч-563-093106141 |
||
| 336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
| 337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
| 338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
| 999 |
_c1611947 _d1611947 |
||