000 00881nam a2200277u##4500
001 genk/76404
003 POUNB
005 20240110025235.0
020 _c4.00 крб.
040 _aПОУНБ
_bukr
041 _aukr
044 _aUA
100 1 _aГотра,З. Ю.
_qЗенон Юрійович
_4aut
245 0 0 _aЛазерні методи обробки в мікроелектроніці
_cЗ. Ю. Готра, Я. В. Бобицький
260 _aЛьвів
_bСвіт
_c1991
300 _a168 с.
084 _a32.844.1
_2rubbk
700 1 _aБобицький,Я. В.
_qЯрослав Васильович
_4aut
942 _cBOOK
090 _xГ 74
991 _bgenk
_c32.844.1/Г 74-246171
336 _atext
_btxt
_2rdacontent
337 _aunmediated
_bn
_2rdamedia
338 _asheet
_bnb
_2rdacarrier
999 _c1608106
_d1608106