| 000 | 00808nas a2200253u##4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | genk/197820 | ||
| 003 | POUNB | ||
| 005 | 20240110025048.0 | ||
| 020 | _c0.50, тираж 4500 | ||
| 040 | _aПОУНБ | ||
| 041 | _a | ||
| 245 | 0 | 0 |
_aФизико-химические методы обработки поверхности полупроводников _cред. Б. Д. Луфт |
| 260 |
_aМ. _bРадио и связь _c1982 |
||
| 300 | _a137 с. | ||
| 084 |
_a32.852 _2rubbk |
||
| 700 | 1 |
_aЛуфт,Б. Д. _qБерта Давыдовна _4edt |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 090 | _xФ 503 | ||
| 991 |
_bgenk _c32.852/Ф 503-333546829 |
||
| 336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
| 337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
| 338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
| 999 |
_c1606296 _d1606296 |
||