000 | 00959nas a2200277u##4500 | ||
---|---|---|---|
001 | genk/197819 | ||
003 | POUNB | ||
005 | 20240110025048.0 | ||
020 | _c1.60, тираж 8000 | ||
040 | _aПОУНБ | ||
041 | _a | ||
100 | 1 |
_aФедоров,Л. П. _qЛель Павлович _4aut |
|
245 | 0 | 0 |
_aПроизводство полупроводниковых приборов _cЛ. П. Федоров, В. М. Багров, Ю. Н. Тихонов |
260 |
_aМ. _bЭнергия _c1979 |
||
300 | _a432 с. | ||
084 |
_a32.852.2 _2rubbk |
||
700 | 1 |
_aБагров,В. М. _qВиталий Михайлович _4aut |
|
700 | 1 |
_aТихонов,Ю. Н. _qЮрий Николаевич _4aut |
|
942 | _cBOOK | ||
090 | _xФ 333 | ||
991 |
_bgenk _c32.852.2/Ф 333-637854660 |
||
336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
999 |
_c1606290 _d1606290 |