000 00959nas a2200277u##4500
001 genk/197819
003 POUNB
005 20240110025048.0
020 _c1.60, тираж 8000
040 _aПОУНБ
041 _a
100 1 _aФедоров,Л. П.
_qЛель Павлович
_4aut
245 0 0 _aПроизводство полупроводниковых приборов
_cЛ. П. Федоров, В. М. Багров, Ю. Н. Тихонов
260 _aМ.
_bЭнергия
_c1979
300 _a432 с.
084 _a32.852.2
_2rubbk
700 1 _aБагров,В. М.
_qВиталий Михайлович
_4aut
700 1 _aТихонов,Ю. Н.
_qЮрий Николаевич
_4aut
942 _cBOOK
090 _xФ 333
991 _bgenk
_c32.852.2/Ф 333-637854660
336 _atext
_btxt
_2rdacontent
337 _aunmediated
_bn
_2rdamedia
338 _asheet
_bnb
_2rdacarrier
999 _c1606290
_d1606290