| 000 | 00757nam a2200253u##4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | genk/134089 | ||
| 003 | POUNB | ||
| 005 | 20240110023409.0 | ||
| 020 | _c1.35, тираж 7000 | ||
| 040 |
_aПОУНБ _brus |
||
| 041 | _arus | ||
| 044 | _aRU | ||
| 100 | 1 |
_aКорзо,В. Ф. _qВиктор Федорович _4aut |
|
| 245 | 0 | 0 |
_aДиэлектрические пленки в микроэлектронике _cВ. Ф. Корзо |
| 260 |
_aМ. _bЭнергия _c1977 |
||
| 300 |
_a367 с.: _bил. |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 090 | _xК 666 | ||
| 991 |
_bgenk _c6П2.151/К 66-319537 |
||
| 336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
| 337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
| 338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
| 999 |
_c1589193 _d1589193 |
||
| 084 |
_a6П2.151 _2tbk |
||