| 000 | 00867nam a2200265u##4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | genk/132227 | ||
| 003 | POUNB | ||
| 005 | 20240110022618.0 | ||
| 020 | _c3.10, тираж 4000 | ||
| 040 |
_aПОУНБ _brus |
||
| 041 | _arus | ||
| 044 | _aRU | ||
| 100 | 1 |
_aКопыл,Г. Ф. _qГеоргий Филиппович _4aut |
|
| 245 | 0 | 0 |
_aОсновы технологии и оборудование производства микроэлектронных устройств _cГ. Ф. Копыл |
| 260 |
_aК. _bВища школа _c1992 |
||
| 300 |
_a414 с.: _bил. |
||
| 084 |
_a32.844.1я722 _2rubbk |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 090 | _xК 659 | ||
| 991 |
_bgenk _c32.844.1я722/К 65-964158 |
||
| 336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
| 337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
| 338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
| 999 |
_c1580925 _d1580925 |
||