000 01280nam a2200289u 4500
001 genk/190048
003 POUNB
005 20240514094105.0
040 _aПОУНБ
_brus
041 _frus
084 _a6П2.151.8(075.3)
090 _xК934
100 1 _aКурносов, Анатолий Иванович,
_eавтор
245 1 0 _aТехнология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем :
_bучебное пособие для студентов вузов /
_cА. И. Курносов, В. В. Юдин.
250 _aИздание третье, переработанное и дополненное.
260 _aМ. :
_bВысшая школа,
_c1986.
300 _a368 с.
336 _atext
_btxt
_2rdacontent
337 _aunmediated
_bn
_2rdamedia
338 _asheet
_bnb
_2rdacarrier
650 0 4 _aПолупроводниковые приборы
_xПроизводство
650 0 4 _aМикроэлектронные схемы интегральные
_xПроизводство
700 1 _aЮдин, Владимир Васильевич,
_eавтор
942 _cBOOK
991 _bgenk
_c-046254468
999 _c1570391
_d1570391