000 01005nam a2200289u##4500
001 genk/129061
003 POUNB
005 20240110021154.0
020 _a5256001396
_c0.40, тираж 7000
040 _aПОУНБ
_brus
041 _arus
044 _aRU
100 1 _aКарбань,В. И.
_qВалерий Иванович
_4aut
245 0 0 _aОбработка монокристаллов в микроэлектронике
_cВ. И. Карбань, Ю. И. Борзаков
260 _aМ.
_bРадио и связь
_c1988
300 _a103 с.:
_bил.
440 0 _aМассовая б-ка инженера "Электроника"
084 _a32.844.1
_2rubbk
700 1 _aБорзаков,Ю. И.
_qЮрий Иванович
_4aut
942 _cBOOK
090 _xК 217
991 _bgenk
_c32.844.1/К 21-039463
336 _atext
_btxt
_2rdacontent
337 _aunmediated
_bn
_2rdamedia
338 _asheet
_bnb
_2rdacarrier
999 _c1566244
_d1566244