000 | 01005nam a2200289u##4500 | ||
---|---|---|---|
001 | genk/129061 | ||
003 | POUNB | ||
005 | 20240110021154.0 | ||
020 |
_a5256001396 _c0.40, тираж 7000 |
||
040 |
_aПОУНБ _brus |
||
041 | _arus | ||
044 | _aRU | ||
100 | 1 |
_aКарбань,В. И. _qВалерий Иванович _4aut |
|
245 | 0 | 0 |
_aОбработка монокристаллов в микроэлектронике _cВ. И. Карбань, Ю. И. Борзаков |
260 |
_aМ. _bРадио и связь _c1988 |
||
300 |
_a103 с.: _bил. |
||
440 | 0 | _aМассовая б-ка инженера "Электроника" | |
084 |
_a32.844.1 _2rubbk |
||
700 | 1 |
_aБорзаков,Ю. И. _qЮрий Иванович _4aut |
|
942 | _cBOOK | ||
090 | _xК 217 | ||
991 |
_bgenk _c32.844.1/К 21-039463 |
||
336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
999 |
_c1566244 _d1566244 |