000 00828nas a2200241u##4500
001 genk/186141
003 POUNB
005 20240110020332.0
020 _c1.01, тираж 22000
040 _aПОУНБ
041 _a
100 1 _aЧерняев,В. Н.
_qВладимир Николаевич
_4aut
245 0 0 _aТехнология производства интегральных микросхем
_bучебное пособие для студентов вузов
_cВ. Н. Черняев
260 _aМ.
_bЭнергия
_c1977
300 _a373 с.
942 _cBOOK
090 _xЧ-498
991 _bgenk
_c6П2.151(075.3)/Ч-498-626315336
336 _atext
_btxt
_2rdacontent
337 _aunmediated
_bn
_2rdamedia
338 _asheet
_bnb
_2rdacarrier
999 _c1554745
_d1554745
084 _a6П2.151(075.3)
_2tbk