000 01154nam a2200301u##4500
001 genk/124909
003 POUNB
005 20240110015909.0
020 _c1.00, тираж 21000
040 _aПОУНБ
_brus
041 _arus
044 _aRU
245 0 0 _aИзмерения и контроль в микроэлектронике
_bУчебное пособие для студентов вузов
_cН. Д. Дубовой, В. И. Осокин, А. С. Очков ; ред. А. А. Сазонов
260 _aМ.
_bВысшая школа
_c1984
300 _a367 с.:
_bил.
650 0 4 _aМикроэлектронные схемы интегральные
_xКонтроль
700 1 _aДубовой,Н. Д.
_qНиколай Дмитриевич
_4aut
700 1 _aОсокин,В. И.
_4aut
700 1 _aОчков,А. С.
_4aut
700 1 _aСазонов,А. А.
_4edt
942 _cBOOK
090 _xИ 374
991 _bgenk
_c6П2.151(075.3)/И 374-967488
336 _atext
_btxt
_2rdacontent
337 _aunmediated
_bn
_2rdamedia
338 _asheet
_bnb
_2rdacarrier
999 _c1548674
_d1548674
084 _a6П2.151(075.3)
_2tbk