| 000 | 01349nam a2200349u##4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | genk/62778 | ||
| 003 | POUNB | ||
| 005 | 20240110015323.0 | ||
| 020 |
_a9785996300327 _c213.00, тираж 770 |
||
| 040 |
_aПОУНБ _brus |
||
| 041 | _arus | ||
| 044 | _aRU | ||
| 100 | 1 |
_aГалперин,В. А. _qВячеслав Александрович _4aut |
|
| 245 | 0 | 0 |
_aПроцессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях _bучебное пособие для студентов вузов _cВ. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов |
| 260 |
_aМ. _bБИНОМ. Лаборатория знаний _c2010 |
||
| 300 | _a284 с. | ||
| 440 | 0 | _aНанотехнологии | |
| 084 |
_a34.55я73 _2rubbk |
||
| 084 |
_a34.96я73 _2rubbk |
||
| 084 |
_a32.844.1я73 _2rubbk |
||
| 084 |
_a30.624я73 _2rubbk |
||
| 084 |
_a22.37я73 _2rubbk |
||
| 700 | 1 |
_aДанилкин,Е. В. _qЕвгений Владимирович _4aut |
|
| 700 | 1 |
_aМочалов,А. И. _qАлексей Иванович _4aut |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 090 | _xГ 167 | ||
| 991 |
_bgenk _c34.55я73/Г 167-259074 |
||
| 336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
| 337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
| 338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
| 999 |
_c1540765 _d1540765 |
||