| 000 | 00949nas a2200253u##4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | genk/181226 | ||
| 003 | POUNB | ||
| 005 | 20240110015041.0 | ||
| 020 | _c0.20, тираж 30000 | ||
| 040 | _aПОУНБ | ||
| 041 | _a | ||
| 245 | 0 | 0 |
_aТехнология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники _bучеб. для ПТУ : в 10-ти кн.. _nКн.8, _pЛитографические процессы _cВ. В. Мартынов |
| 260 |
_aМ. _bВысшая школа _c1990 |
||
| 300 | _a128 с. | ||
| 084 |
_a32.852-06я722 _2rubbk |
||
| 700 | 1 |
_aМартынов,В. В. _qВалерий Владимирович _4aut |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 090 | _xТ 384 | ||
| 991 |
_bgenk _c32.852-06я722/Т 384-206798776 |
||
| 336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
| 337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
| 338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
| 999 |
_c1537119 _d1537119 |
||