000 00963nas a2200265u##4500
001 genk/181142
003 POUNB
005 20240110015029.0
020 _c1.30, тираж 10000
040 _aПОУНБ
041 _a
100 1 _aТаиров,Ю. М.
_qЮрий Михайлович
_4aut
245 0 0 _aТехнология полупроводниковых и диэлектрических материалов
_bучебник для студентов вузов
_cЮ. М. Таиров, В. Ф. Цветков
260 _aМ.
_bВысшая школа
_c1990
300 _a422 с.
084 _a31.233я73
_2rubbk
700 1 _aЦветков,В. Ф.
_qВалерий Федорович
_4aut
942 _cBOOK
090 _xТ 145
991 _bgenk
_c31.233я73/Т 145-015444532
336 _atext
_btxt
_2rdacontent
337 _aunmediated
_bn
_2rdamedia
338 _asheet
_bnb
_2rdacarrier
999 _c1536854
_d1536854