000 00924nas a2200253u##4500
001 genk/181129
003 POUNB
005 20240110015027.0
020 _c0.15, тираж 30000
040 _aПОУНБ
041 _a
245 0 0 _aТехнология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники
_bучеб. для ПТУ : в 10-ти кн..
_nКн.10,
_pКонтроль качества
_cЮ. Г. Семенов
260 _aМ.
_bВысшая школа
_c1990
300 _a110 с.
084 _a32.852-06я722
_2rubbk
700 1 _aСеменов,Ю. Г.
_qЮрий Григорьевич
_4aut
942 _cBOOK
090 _xТ 384
991 _bgenk
_c32.852-06я722/Т 384-781912061
336 _atext
_btxt
_2rdacontent
337 _aunmediated
_bn
_2rdamedia
338 _asheet
_bnb
_2rdacarrier
999 _c1536814
_d1536814