| 000 | 00941nas a2200253u##4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | genk/181008 | ||
| 003 | POUNB | ||
| 005 | 20240110015010.0 | ||
| 020 | _c0.15, тираж 30000 | ||
| 040 | _aПОУНБ | ||
| 041 | _a | ||
| 245 | 0 | 0 |
_aТехнология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники _bучеб. для ПТУ : в 10-ти кн.. _nКн.6, _pНанесение пленок в вакууме _cВ. Е. Минайчев |
| 260 |
_aМ. _bВысшая школа _c1989 |
||
| 300 | _a109 с. | ||
| 084 |
_a32.852-06я722 _2rubbk |
||
| 700 | 1 |
_aМинайчев,В. Е. _qВиктор Егорович _4aut |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 090 | _xТ 384 | ||
| 991 |
_bgenk _c32.852-06я722/Т 384-664792976 |
||
| 336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
| 337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
| 338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
| 999 |
_c1536465 _d1536465 |
||