000 | 01008nas a2200253u##4500 | ||
---|---|---|---|
001 | genk/181006 | ||
003 | POUNB | ||
005 | 20240110015010.0 | ||
020 | _c0.10, тираж 30000 | ||
040 | _aПОУНБ | ||
041 | _a | ||
245 | 0 | 0 |
_aТехнология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники _bучеб. для ПТУ : в 10-ти кн.. _nКн.4, _pМеханическая и химическая обработка _cС. Н. Никифорова-Денисова |
260 |
_aМ. _bВысшая школа _c1989 |
||
300 | _a94 с. | ||
084 |
_a32.852-06я722 _2rubbk |
||
700 | 1 |
_aНикифорова-Денисова,С. Н. _qСветлана Николаевна _4aut |
|
942 | _cBOOK | ||
090 | _xТ 384 | ||
991 |
_bgenk _c32.852-06я722/Т 384-166007577 |
||
336 |
_atext _btxt _2rdacontent |
||
337 |
_aunmediated _bn _2rdamedia |
||
338 |
_asheet _bnb _2rdacarrier |
||
999 |
_c1536460 _d1536460 |