000 01008nas a2200253u##4500
001 genk/181006
003 POUNB
005 20240110015010.0
020 _c0.10, тираж 30000
040 _aПОУНБ
041 _a
245 0 0 _aТехнология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники
_bучеб. для ПТУ : в 10-ти кн..
_nКн.4,
_pМеханическая и химическая обработка
_cС. Н. Никифорова-Денисова
260 _aМ.
_bВысшая школа
_c1989
300 _a94 с.
084 _a32.852-06я722
_2rubbk
700 1 _aНикифорова-Денисова,С. Н.
_qСветлана Николаевна
_4aut
942 _cBOOK
090 _xТ 384
991 _bgenk
_c32.852-06я722/Т 384-166007577
336 _atext
_btxt
_2rdacontent
337 _aunmediated
_bn
_2rdamedia
338 _asheet
_bnb
_2rdacarrier
999 _c1536460
_d1536460