Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники Е. К. Чехович
Вид матеріалу: Серіальне виданняМова: Публікація: Минск Наука и техника 1989Опис: 213 сТип вмісту:- текст
- прямий доступ
- аркуш
- 32.844.1-7
Тип одиниці зберігання | Поточна бібліотека | Зібрання | Шифр зберігання | Стан | Очікується на дату | Штрих-код | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Книга, брошура | Відділ зберігання основного фонду | Обов'язковий примірник від Центрального колектора наукових бібліотек 1991-1995 рр. | Доступно |