Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях учебное пособие для студентов вузов В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов

За: Інтелектуальна відповідальність: Вид матеріалу: Текст Текст Мова: російська Серія: НанотехнологииПублікація: М. БИНОМ. Лаборатория знаний 2010Опис: 284 сТип вмісту:
  • текст
Тип засобу:
  • прямий доступ
Тип носія:
  • аркуш
ISBN:
  • 9785996300327
Інша класифікація:
  • 34.55я73
  • 34.96я73
  • 32.844.1я73
  • 30.624я73
  • 22.37я73
Мітки з цієї бібліотеки: Немає міток з цієї бібліотеки для цієї назви. Ввійдіть, щоб додавати мітки.
Оцінки зірочками
    Середня оцінка: 0.0 (0 голос.)
Фонди
Тип одиниці зберігання Поточна бібліотека Шифр зберігання Стан Очікується на дату Штрих-код
Книга, брошура Відділ документів технічних та природничих наук (читальний зал) Доступно 10110316