TY  - BOOK
AU  - Готра,Зенон Юрійович
AU  - Готра,З.Ю.
TI  - Технологія електронної техніки: навчальний посібник для студентів вузів : у 2-х т.
SN  - 9789665538820
PY  - 2010///
CY  - Львів
PB  - Львівська політехніка
N2  - Описано основні технологічні процеси електронної техніки: вирощування монокристалів, механічну, фізико-хімічну обробку матеріалів та напівпровідникових структур. Розглянуто процеси дифузії, епітаксії, іонної імплантації, лазерної, плазмової та електронно-променевої обробки. Описані технологія фото-, електроно-, рентгенолітографії, тонких, товстих плівок, створення наноструктур, а також монтаж та герметизація. Висвітлено методи отримання вакууму та контролю в технології електронної техніки.  Рекомендований для студентів вищих навчальних закладів, які навчаються за напрямом "Електроніка".
ER  -