Г 74       Готра, Зенон Юрійович

Технологія електронної техніки: навчальний посібник для студентів вузів : у 2-х т./ Т. 1 Готра, Зенон Юрійович;З. Ю. Готра. — Львів: Львівська політехніка 2010 — 886 с.. — Описано основні технологічні процеси електронної техніки: вирощування монокристалів, механічну, фізико-хімічну обробку матеріалів та напівпровідникових структур. Розглянуто процеси дифузії, епітаксії, іонної імплантації, лазерної, плазмової та електронно-променевої обробки. Описані технологія фото-, електроно-, рентгенолітографії, тонких, товстих плівок, створення наноструктур, а також монтаж та герметизація. Висвітлено методи отримання вакууму та контролю в технології електронної техніки. Рекомендований для студентів вищих навчальних закладів, які навчаються за напрямом "Електроніка". ISBN:  9789665538820