TY  - BOOK
AU  - Данилин,Б.С.
AU  - Киреев,В.Ю.
TI  - Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
PY  - 1987///
CY  - М.
PB  - Энергоатомиздат
ER  -