TY  - BOOK
AU  - Готра,З.Ю.
TI  - Технология микроэлектронных устройств
PY  - 1991///
CY  - М.
PB  - Радио и связь
KW  - Микроэлектронная аппаратура
KW  - Производство
N1  - Библиогр.: с. 526 (22 назв.)
ER  -