TY  - BOOK
AU  - Готра,З.Ю.
TI  - Справочник по технологии микроэлектронных устройств
PY  - 1986///
CY  - Львов
PB  - Каменяр
KW  - Микроэлектронные схемы
KW  - Производство
ER  -