TY  - BOOK
AU  - Полтавцев,Ю.Г.
AU  - Князев,А.С.
TI  - Технология обработки поверхностей в микроэлектронике
SN  - 5335005726
PY  - 1990///
CY  - К.
PB  - Техника
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные
KW  - Детали
ER  -