TY  - BOOK
AU  - Пресс,Ф.П.
TI  - Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов
PY  - 1968///
CY  - М.
PB  - Энергия
KW  - Полупроводниковые приборы
KW  - фотолитография
KW  - полупроводниковые приборы
KW  - производство
N1  - Библиогр.: с. 191 - 199
ER  -