TY  - BOOK
AU  - Блинов,И.Г.
AU  - Кожитов,Л.В.
TI  - Оборудование полупроводникового производства: учебное пособие для вузов
PY  - 1986///
CY  - М.
PB  - Машиностроение
KW  - Электронная промышленность, предприятия
KW  - Оборудование
KW  - Полупроводниковые приборы
KW  - Производство
ER  -