TY  - BOOK
AU  - Пичугин,И.Г.
AU  - Таиров,Ю.М.
TI  - Технология полупроводниковых приборов: учебник для студентов вузов
PY  - 1984///
CY  - М.
PB  - Высшая школа
KW  - Полупроводниковые приборы
KW  - Производство
ER  -