TY  - BOOK
AU  - Броудай,И.
AU  - Мерей,Д.
TI  - Физические основы микротехнологии: пер. с англ
PY  - 1985///
CY  - М.
PB  - Мир
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные
KW  - Производство
ER  -