TY  - BOOK
AU  - Панфилов,Ю.В.
AU  - Рябов,В.Т.
AU  - Цветков,Ю.Б.
TI  - Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы: учебник для средних специальных учебных заведений
PY  - 1988///
CY  - М.
PB  - Радио и связь
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные
KW  - Производство
KW  - Роботы промышленные
KW  - Учебники и пособия
ER  -