П 167
      Панфилов,Ю. В.
      Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы учебник для средних специальных учебных заведений Ю. В. Панфилов, В. Т. Рябов, Ю. Б. Цветков — М. Радио и связь 1988 — 320 с.: ил.