TY  - BOOK
AU  - Парфенов,О.Д.
TI  - Технология микросхем: учебное пособие для вузов
PY  - 1986///
CY  - М.
PB  - Высшая школа
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные
KW  - Производство
ER  -