TY  - BOOK
AU  - Блочер,Дж
AU  - Лунэм,А.
AU  - Детторр,Дж
AU  - Пауэлл,К.
TI  - Осаждение из газовой фазы: сокр. пер. с англ
PY  - 1970///
CY  - М.
PB  - Атомиздат
KW  - Осаждение (хим.) из газовой фазы
ER  -